지난해 12월 15일, 인제대학교의 프라임의생명공학관(J동) 304호에 ‘반도체 공정교육센터 클린룸’을 약 120m2 (40평) 규모로 개소했다. 이 클린룸은 지난 2022년 경남에서 유일하게 선정된 반도체전공트랙사업(2022.07.-2025.02.)의 사업비 지원으로 구축되었고, 기존의 나노융합공학부와 올해 새롭게 신설된 반도체 공학과와 함께 시너지 효과를 불러올 것으로 주목받고 있다.

클린룸은 산업에서 먼지나 오염에 예민한 제품을 생산할 때 사용하는 깨끗한 공간을 의미한다. 클린룸은 압력을 외부보다 높게 유지해서 바깥에서 분진이 유입되지 못하게 하여, 병실 내부의 압력을 외부보다 낮게 유지해 내부의 공기를 가두는 음압 병실과는 다른 원리이다. 좁게는 우리나라의 핵심 산업인 반도체와 디스플레이(LCD, OLED 등)를 만들거나, 넓게는 의료기기, 제약, 식품 등 고부가가치 제품 생산에 사용되는 공간이다. 삼성전자, LG 디스플레이, SK하이닉스 등 IT 기기를 생산하는 회사의 제품은 기본적으로 클린룸 환경에서 생산된다.

인제대학교 나노융합공학부장/반도체공학과장 이제원 교수에 따르면 ‘인제대학교의 클린룸은 학우분들이 1년 내내 실제로 사용하는 실습 공간으로, 경제적이고 매우 실용적으로 구축하였으며, 향후 인제대학교가 반도체 특성화 대학에 도전하거나 선정된다면, 지속적인 투자를 통해, 추가 확장을 염두에 두고 있다. 리소그래피, 박막 증착, 식각, 소자 제작, 특성 평가 등 궁극적으로 반도체 소자 제작에서 평가까지 가능한 일관 시스템 환경 구축을 통해, 반도체 분야의 실제 제작과 실습에 강한 인제대학교 학생을 양성하는 것을 목표로 하고 있다’라고 전했다.

인제대학교 나노융합공학부장/반도체공학과장 이제원 교수는 “인제대학교 브랜드의 반도체 장비를 인제대학교 나노융합공학부/반도체공학과에 방문하게 된다면, 실제로 볼 수 있고 반도체 공정교육센터를 통해 교육도 가능하다”라고 말했다. 덧붙여 “지난 20년 이상의 대학 실험실 경험과 그전의 미국 반도체 장비기업 기술 개발 책임자로서의 경험을 집약시켜 인제대학교 화합물 반도체 및 플라즈마 실험실에서 자체 제작된 실습 전용 진공 장비 PowerTron, LFTron 등의 전원 공급기와 Plasma Pro 등의 플라즈마 처리기는 2023년에 상표권을 출원하여 현재 심사 중에 있다”라고 언급했다.

이어 “우리 인제대학교는 대부분 돈 먹는 하마가 될 수 있는 클린룸을 그 용도에 맞게 가장 적절하게 구축하고자 하였다. 사용하는 학생들이 주인정신으로 아끼고, 잘 관리하며 사용하여, 실력을 향상해 가기를 바란다”라며 “24시간 사용할 수 있고, 언제든 열려 있으니 청결을 유지하며 많은 학생이 사용자 입장에서 즐기기를 기대한다”라고 밝혔다.